一、基本情況
洛陽中硅高科技有限公司檢測中心是硅基材料制備技術(shù)國家工程研究中心下屬的國家級測試分析中心，是國內(nèi)最早從事硅材料分析測試的檢測機(jī)構(gòu)。主要從事多晶硅行業(yè)及半導(dǎo)體行業(yè)、電子氣體、工業(yè)氣體等重要原輔材料和產(chǎn)成品的檢測以及新方法的研究工作?？偨ㄖ娣e 4600 m2，檢測區(qū)面積 1500 m2 ，恒溫潔凈區(qū)面積1400 m 2，包含質(zhì)譜分析室、氣相分析室、化學(xué)分析室、硅晶體測試室等，共37個實驗間，其中千級潔凈室9間、超級級潔凈臺2個。擁有國際先進(jìn)的分析設(shè)備50余臺/套，有證標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)和化學(xué)試劑配備齊全，其中與行業(yè)相關(guān)的有證標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)30余種、化學(xué)試劑200余種，是集儀器分析與化學(xué)分析于一體的綜合型檢測實驗室，具備強(qiáng)大的持續(xù)測試能力和研發(fā)能力。2013年通過中國合格評定委員會（CNAS）認(rèn)可，是半導(dǎo)體材料標(biāo)委會會員單位，SEMI中國光伏標(biāo)委會核心委員；參與制定半導(dǎo)體材料國家標(biāo)準(zhǔn)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)20余項，SEMI標(biāo)準(zhǔn)3項，先后榮獲半導(dǎo)體材料國家標(biāo)準(zhǔn)一等獎、二等獎，SEMI標(biāo)準(zhǔn)優(yōu)秀獎等。工作人員中，研究生以上學(xué)歷占比8%、本科以上學(xué)歷占比60%，是一支經(jīng)驗豐富、綜合素養(yǎng)高的工作團(tuán)隊。
二、主要設(shè)備
三、業(yè)務(wù)范圍
1、半導(dǎo)體材料
檢測對象 | 檢測項目 |
硅晶體 | 電阻率 |
導(dǎo)電類型 | |
間隙氧 | |
代位碳 | |
體內(nèi)少數(shù)載流子壽命 | |
硼、磷、鎵、鋁、砷、銻 | |
多晶硅轉(zhuǎn)化為單晶硅 | |
表面金屬 | |
基體金屬 |
2.電子級氣體
檢測對象 | 檢測項目 |
二氯二氫硅、 三氯氫硅、 四氯化硅、 六氯乙硅烷 | 雜質(zhì) |
純度 | |
甲基氯硅烷 | |
紅外透過率 | |
其他硅基電子特氣 | 純度、雜質(zhì) |
純度、雜質(zhì) |
3.工業(yè)級氣體
檢測對象 | 檢測項目 |
氫氣 | 氫氣中N2、O2、Ar、CO、CO2、CH4、C2H2、H2O |
氮氣 | 氮氣中H2、O2、Ar、CO、CO2、CH4、C2H2、H2O |
氬氣 | 氬氣中H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、C2H2、H2O |
高純氣體 | 微量氫含量 |
高純氣體 | 微量水分 |
環(huán)境空氣 | 環(huán)境空氣中總烴、甲烷、非甲烷總烴的測定 |
高純氣體 | CO、CO2、CH4 |
4.有色金屬、礦物樣品和其他
檢測對象 | 檢測項目 |
有色金屬、礦物樣品 | 樣品中雜質(zhì)分析 |
工業(yè)硅 | 粒度、雜質(zhì)含量、碳 |
石英砂 | 雜質(zhì) |
純水、電子級試劑 | 雜質(zhì) |
粉體、懸浮液 | 粒徑分布、電阻率 |
石墨制品 | 灰分、元素分析 |
四、主要合作客戶
五、聯(lián)系方式
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聯(lián)系電話Tel：0379-68608288 0379-68608289
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